PECVD是制备薄膜光伏电池中非晶硅吸收层的关键工艺，而PECVD真空腔体则是PECVD工艺所需重要设备载体之一。

　　真空腔体是指保证内部为真空状态的容器设备，当前在技术工艺要求不断升级背景下，多数先进工艺均需在真空或惰性气体保护条件下完成，因此，真空腔体应运而生，成为保证多种工艺顺利实施的关键设备。

　　PECVD真空腔体则是等离子增强型化学气相淀积（PECVD）技术工艺中所需真空腔体的总称。根据用途不同，PECVD真空腔体可分为PECVD真空工艺腔体与PECVD真空传送腔体两大类；根据材质不同，PECVD真空腔体可分为不锈钢、铝合金、钛合金真空腔体等。

　　等离子增强型化学气相淀积（PECVD）是化学气相淀积技术的一种，是指在低气压条件下，利用低温等离子体在真空腔体的阴极上产生辉光放电，通过辉光放电使样品升温，再与气体发生反应下，使样品表面形成固态薄膜的过程。PECVD是制备薄膜光伏电池中非晶硅吸收层的关键工艺，而PECVD真空腔体则是PECVD工艺所需重要设备载体之一。当前在下游薄膜光伏电池市场快速发展带动下，PECVD真空腔体行业迎来发展新机遇。

　　PECVD工艺在异质结（HJT）光伏电池中应用占比较大。HJT电池是光伏电池行业中具有颠覆性技术的新型电池，当前在光伏发电产业快速发展背景下，其产业化进程正不断加快。目前已有爱康科技、宝馨科技、东方日升等多家企业布局HJT电池项目，2022年国内HJT电池扩产规模在20-30GW。根据新思界产业研究中心发布的《2023-2028年PECVD真空腔体行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，未来随着HJT电池加速扩产，预计到2025年，我国PECVD真空腔体市场规模有望达到7.9亿元，2023-2025年规模复合年增长率将超过100%。

　　PECVD真空腔体属于大型铸件之一，目前国内具备量产能力的企业主要包括明志科技、日扬科技、神商精密器材、帕萨电子装备等。现阶段，我国HJT电池尚未实现产业化，因此，作为其配套装备的PECVD真空腔体行业仍处于初步发展阶段，布局企业数量较少。

　　新思界产业分析人士表示，异质结（HJT）电池是一种高效晶硅太阳能电池结构，是一类极具发展潜力的太阳能电池，当前在其优势不断凸显背景下，其产业化进程正不断加速。而PECVD真空腔体作为HJT电池核心生产工艺PECVD的关键设备载体，市场需求得以不断增加。但目前国内PECVD真空腔体行业仍处于初步发展阶段，未来还有巨大成长空间。