江丰电子以创业者为本,以客户为中心,秉承“为‘中国制造’增添光荣,赋予‘中国制造’更多内涵”的责任,遵守“品质成就未来”的信条,用“凡事尽到努力,凡事坚持到底,凡事追求完美,凡事争取第一”的精神,锐意进取,开拓创新,把握全球半导体产业快速增长的历史机遇,力争达到超高纯金属溅射靶材领域的领先水平。同时,公司抓住芯片制造产线、装备国产替代、自主可控的重大发展机遇,充分整合资源、技术、市场等多方优势,积极发力新产品领域,持续投入半导体精密零部件制造工艺的研发,完善半导体精密零部件的产品布局,建成多个零部件生产基地,实现多品类精密零部件产品在半导体核心工艺环节的应用。
经过多年的技术研究与突破,江丰电子的超高纯金属溅射靶材在技术门槛最高的半导体领域已具备了一定国际竞争力,公司产品全面覆盖了先进制程、成熟制程和特色工艺领域,凭借全面的产品组合、领先的技术优势、先进的制造能力、稳定的产品质量、强大的核心装备以及全球化的技术支持、销售与服务体系,江丰电子已成为全球领先的半导体溅射靶材制造商,是台积电、中芯国际、SK海力士、联华电子等全球知名芯片制造企业的核心供应商。
江丰电子推动了芯片制造关键材料的国产化,已经成为芯片材料领域的领军企业。2019年,江丰电子及其“半导体制造用超高纯金属溅射靶材”被国家工业和信息化部、中国工业经济联合会评为第四批“制造业单项冠军示范企业(2020—2022年)”。2021年,公司的“超高纯铝钛铜钽金属溅射靶材制备技术及应用”项目荣获“2020年度国家技术发明二等奖”。2022年,公司被国家工业和信息化部认定为“2022年国家技术创新示范企业”。2023年,公司主持制定的T/ZZB0093—2016《集成电路用高纯钛溅射靶材》团队标准获得国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会颁发的“2022年中国标准创新贡献三等奖”,公司“平板显示用超高纯铝、铜溅射靶材关键技术研究及产业化”项目获得“宁波市科学技术进步奖一等奖”。
超大规模集成电路芯片的制作过程可分为硅片制造、晶圆制造和芯片封装三大环节,超高纯溅射靶材则主要用于“晶圆制造”和“芯片封装”两个环节,在晶圆制造环节被用作金属溅镀,即用于“金属化”工艺中的导电层、阻挡层和接触层的制备,在芯片封装环节被用作贴片焊线的镀膜。半导体领域靶材具有多品种、高门槛、定制化研发的特点,其对于溅射靶材的技术要求最高,对金属材料纯度、内部微观结构、加工精度等均有严苛的标准。近年来半导体芯片的集成度越来越高,半导体芯片尺寸不断缩小,对高纯溅射靶材提出了新的技术挑战。
在晶圆制造溅射靶材市场领域,江丰电子具有国际竞争力。根据弗若斯特沙利文报告,2022年江丰电子在全球晶圆制造溅射靶材市场份额排名第二。
半导体精密零部件是半导体设备行业的支撑,是半导体设备核心技术的直接保障,零部件需要满足半导体设备在材料、结构、工艺、品质以及精度、可靠性和稳定性等方面的技术要求,同时,它们具有高精密、高洁净、超强抗腐蚀能力、耐击穿电压等特点,生产工艺涉及精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺等多个领域和学科。
半导体精密零部件的需求主要来自两个方面,一是设备厂用于制造半导体设备配备的零部件;二是晶圆厂使用设备消耗的零部件。半导体精密零部件作为半导体设备的重要组成部分,决定了半导体设备的核心构成和优质性能,在半导体设备的成本构成中,精密零部件的价值占比较高,市场空间广阔。
根据弗若斯特沙利文报告,2022年全球半导体设备精密零部件市场规模为3,861亿元人民币,其中,中国市场增速高于全球市场,主要得益于供应链本土化进程的加速,2022年中国半导体设备精密零部件市场规模为1,141亿元人民币。
超高纯金属溅射靶材是平板显示器生产过程中具有高附加值的功能性材料,其能够保证平板显示器制造过程中大面积膜层的均匀性。由溅射靶材形成的溅射薄膜与平板显示器的分辨率、透光率等主要技术指标均紧密相关。
近年来,伴随着技术的创新突破及迭代,平板显示产业链呈现出向中国加速迁移的趋势,产业链多集中在长三角、珠三角、华中、北京等地区或城市。受益于平板显示产业国产化趋势的加速、平板显示领域本土靶材供应商技术的突破和成熟、国产化的成本优势等,未来溅射靶材领域存在较大的进口替代空间,有望逐步降低对进口靶材的依赖。
在太阳能电池领域,靶材主要应用于薄膜太阳能电池、晶体硅太阳能电池等。太阳能电池领域的靶材技术门槛低于半导体和平板显示领域。目前,全球有120多个国家提出或要求必须在发电领域应用清洁能源。光伏发电通过半导体界面的光伏效应,直接将太阳能转化为电能,过程中不消耗燃料,也不产生污染物。随着政府继续加强清洁能源的发展,中国和全球光伏发电累计装机容量正快速增长,中国在全球光伏发电行业中处于绝对领先地位,光伏产业的持续发展使得太阳能电池用溅射靶材市场的规模有望继续增长。
公司主营业务为超高纯金属溅射靶材以及半导体精密零部件的研发、生产和销售,其中超高纯溅射靶材包括铝靶、钛靶、钽靶、铜靶以及各种超高纯金属合金靶材等,这些产品主要应用于超大规模集成电路芯片、平板显示器、太阳能电池制造的物理气相沉积(PVD)工艺,用于制备电子薄膜材料。半导体精密零部件包括金
属、陶瓷、树脂等多种材料经复杂工艺加工而成的精密零部件,主要用于半导体芯片以及平板显示器生产线的机台,覆盖了包括PVD、CVD、刻蚀、离子注入以及产业机器人等应用领域,其生产过程对于材料精密制造技术、表面处理特种工艺等技术要求极高,产品主要出售给晶圆制造商作为设备使用耗材或出售给设备制造商用于设备生产。公司的主要产品如下:
公司主要生产超高纯金属溅射靶材,包括超高纯铝靶材、超高纯钛靶材及环件、超高纯钽靶材及环件及超高纯铜靶材及环件、钨钛靶、镍靶和钨靶等。
超高纯铝及其合金是目前使用最为广泛的半导体芯片配线薄膜材料之一。在其应用领域中,超大规模集成电路芯片的制造对溅射靶材金属纯度的要求最高,通常要求达到99.9995%(5N5)以上,平板显示器、太阳能电池用铝靶的金属纯度略低,分别要求达到99.999%(5N)、99.995%(4N5)以上。目前,公司生产的铝靶已经广泛应用于超大规模集成电路芯片、平板显示器、太阳能电池等领域。
在超大规模集成电路芯片中,超高纯钛是被广泛应用的阻挡层薄膜材料之一。钛靶材及环件则是应用于130-5nm工艺当中,与超高纯钛靶材配套使用,其主要功能是实现更好的薄膜性能,以达到更高的集成度要求。目前,公司生产的钛靶、钛环主要应用于超大规模集成电路芯片制造领域。
在先端的铜制程超大规模集成电路芯片中,超高纯钽是阻挡层薄膜材料。钽靶材及环件是在90-3nm的先进制程中必需的阻挡层薄膜材料,主要应用在最尖端的芯片制造工艺当中。因此,钽靶材及环件是靶材制造技术难度最高、品质一致性要求最高的尖端产品,在此之前仅有少数几家跨国公司能够生产。特别是钽环件生产技术要求极高,目前只有江丰电子及头部跨国企业掌握了生产此产品的核心技术。近年来随着高端芯片需求的增长,钽靶材及环件的需求大幅增长,全球供应链极其紧张。目前,公司生产的钽靶材及环件主要用于超大规模集成电路领域。
超高纯铜及铜锰、铜铝合金靶材是目前使用最为广泛的先端半导体导电层薄膜材料之一。在其应用领域中,超大规模集成电路芯片的制造对溅射靶材金属纯度的要求最高,通常要求达到99.9999%(6N)以上,平板显示器、太阳能电池用铜靶的金属纯度略低,分别要求达到99.999%(5N)、99.995%(4N5)以上。铜及铜合金作为导电层通常用于90-3nm技术节点的先端芯片中。特别是铜锰合金靶材制造难度高,目前只有江丰电子及头部跨国企业掌握了生产此产品的核心技术。近年来随着高端芯片需求的增长,铜锰合金靶材的需求大幅增长,全球供应链极其紧张。公司生产的铜及铜合金靶主要用于超大规模集成电路芯片和平板显示器制造领域。
超大规模集成电路芯片PVD、CVD、刻蚀机等半导体设备由各种精密零部件结合构成,这些部件主要包括传输腔体、反应腔体、膛体、圆环类组件(ring)、腔体遮蔽件(shield)、保护盘体(disc)、冷却盘体(coolingarm)、加热盘体(heater)、气体分配盘(showerhead)、气体缓冲盘(blockplate)、模组组件等;材料包括金属类(不锈钢、铝合金、钛合金)、非金属类(陶瓷、石英、硅、高分子材料)等;制造工艺包括超精密加工、扩散焊、氩弧焊、真空钎焊、表面处理、阳极氧化、等离子喷涂、热喷涂、特殊涂层、超级净化清洗等。在芯片先进制程生产工艺中,各种精密零部件以及CMP用保持环(RetainerRing)、抛光垫(Pad)等作为耗材被广泛使用,零部件产品对金属材料精密制造技术、表面处理特种工艺等技术要求极高。目前,公司生产的零部件产品包括设备制造零部件和工艺消耗零部件,主要用于超大规模集成电路芯片领域。
除上述超高纯靶材以及精密零部件产品以外,公司生产的其他产品包括第三代半导体基板材料、LCD用碳纤维复合材料部件等其他产品和对外提供的清洗、加工等服务。
公司依据销售订单和生产计划制定具体的采购计划,结合主要原材料的现有库存量、采购周期、在途时间等因素计算具体的采购数量,并确保一定的安全库存量。对于主要原材料的采购,公司已经建立了稳定的原材料供应渠道,与主要供应商结成了长期稳定的战略合作伙伴关系,根据制定的采购计划实施采购;对于其他原材料的采购,公司通常会选择2-3家合格供应商,建立多家供货渠道,经询价后确定供应商并及时采购入库。针对日本供应商,公司主要通过全资子公司日本江丰直接采购,以及日本江丰通过三菱化学旗下的综合商社向其采购高纯金属原材料。
由于公司的终端用户多为世界一流芯片制造企业,各客户拥有独特的技术特点和品质要求,为此公司根据客户的个性化需求采取了定制化的生产模式。研发生产的产品在材料、成分、形状、尺寸、性能参数等诸多方面存在着不同,公司生产具有“多品种、小批量”的特点。在产品研发及设计前期,公司要投入大量精力与终端客户进行技术、品质、性能的交流,当产品通过客户评价后,生产部门在接到来自销售部门的客户订单后,即根据订单制定生产计划,实行“以销定产”的生产模式。
公司已经掌握了超高纯金属溅射靶材生产中的核心技术,形成了晶粒晶向控制、材料焊接、精密加工、产品检测、清洗包装等在内的完整业务流程,通过合理调配机器设备和生产资源自主组织生产,实行柔性化生产管理。在先进制程领域,我们持续适应下游客户不同的技术路线演变需求和变革需求,从而实现先进制程领域超高纯金属溅射靶材在客户端的规模化量产。同时公司将在半导体用超高纯金属溅射靶材领域长期积累的技术能力、品质保障能力、客户理解能力等成功应用到半导体精密零部件领域,迅速拓展了在精密零部件领域的产品线、销售模式
由于超大规模集成电路、平板显示器、太阳能电池行业对溅射靶材和零部件的产品质量、性能指标等有着较为严苛的要求,因此,公司下游客户存在严格的供应商和产品认证机制。公司与潜在客户初步接触之后,需要经过供应商初评、产品报价、样品检测、小批量试用、稳定性检测等认证程序之后,才能成为合格供应商并批量供货。
公司与客户的销售模式包括直销和商社代理销售模式。直销模式下,公司及公司的具体产品通过了客户认证评价后,由客户向公司下达月度或季度订单,公司按约定的交货期向客户发货。商社代理模式则是指公司的日本终端客户通过三菱化学旗下的综合商社等知名商社向公司采购产品的模式。该模式在日本制造业企业中较为普遍,其业务流程为最终客户首先与综合商社签订采购合同,综合商社再与公司签订合。